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Autoren:
Walser, Sebastian 
Dokumenttyp:
Dissertation / Thesis 
Titel:
Programmierbare kapazitive MEMS-Mikrofone 
Betreuer:
Kutter, Christoph Prof. Dr. 
Gutachter:
Kutter, Christoph Prof. Dr. ; Feiertag, Gregor Prof. Dr. 
Tag der mündlichen Prüfung:
26.09.2018 
Publikationsdatum:
12.11.2018 
Jahr:
2018 
Sprache:
Deutsch 
Stichwörter:
MEMS, Mikrofon, Programmierbar, OTP, Verteilung, Sensitivität 
Abstract:
Nowadays capacitive MEMS microphones are state of the art for mobile phones. Requirements for the microphones are a narrow sensitivity distribution, a high signal to noise ratio and a small microphone package. To fulfill these requirements a capacitive programmable MEMS microphone was developed. For this purpose a differential sensor chip and a programmable ASIC chip were combined into a microphone package. The new flip-chip package (3,35 x 2,5 x 1,0 mm3) has a large backvolume of 3,4 mm3 w...    »
 
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Institut:
EIT 2 - Institut für Physik 
Open Access ja oder nein?:
Nein / No