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Document type:
Konferenzbeitrag / Conference Paper
Title:
Study of trigger homogeneity in ESD protection devices using backside laser interferometry
Title of conference publication:
Informationstagung Mikroelektronik (ME)
Subtitle of conference publication:
Wien; 10.10.2001 - 11.10.2001
Conference title:
Informationstagung Mikroelektronik (2001, Wien)
Venue:
Wien
Year of conference:
2001
Date of conference beginning:
10.10.2001
Date of conference ending:
11.10.2001
Year:
2001
Language:
Englisch
Department:
Fakultät für Elektrotechnik und Technische Informatik
Institute:
ETTI 1 - Institut für Physik, Elektrotechnik und Automatisierungstechnik
Chair:
Groos, Gerhard
Open Access yes or no?:
Nein / No
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