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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag / Conference Paper
Titel:
Study of trigger homogeneity in ESD protection devices using backside laser interferometry
Titel Konferenzpublikation:
Informationstagung Mikroelektronik (ME)
Untertitel Konferenzpublikation:
Wien; 10.10.2001 - 11.10.2001
Konferenztitel:
Informationstagung Mikroelektronik (2001, Wien)
Tagungsort:
Wien
Jahr der Konferenz:
2001
Datum Beginn der Konferenz:
10.10.2001
Datum Ende der Konferenz:
11.10.2001
Jahr:
2001
Sprache:
Englisch
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Technische Informatik
Institut:
ETTI 1 - Institut für Physik, Elektrotechnik und Automatisierungstechnik
Professur:
Groos, Gerhard
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
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