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Home / Alle InhalteProjekteFakultäten (univ.)Fakultät für Elektrotechnik und InformationstechnikEIT 1 - Institut für Plasmatechnik und Mathematikrecord00001

Projektleitung:

Dr.-Ing. Stephan Zimmermann

Institut:

EIT 1 - Institut für Plasmatechnik und Mathematik

Fakultät:

Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

Projektbezeichnung:

ALD Vacuum Technologies GmbH_Diagnostik

Projektbeschreibung:

Plasmadiagnostik-Plasma-Generatoren-Verhalten an ALD Vacuum Technologies GmbH -Spezifischen Anlage

Drittmittelgeber:

ALD Vacuum Technologies GmbH

Datum Projektbeginn:

01.04.2015

Datum Projektende:

31.12.2015

Vorkommen:

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