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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag / Conference Paper
Titel:
Characterization of the b and as pile-up at the si-sio2 interface
Titel Konferenzpublikation:
Ultra Shallow Junctions
Untertitel Konferenzpublikation:
7th International Workshop Fabrication, Characterization and Modeling of Ultra Shallow Doping Profiles in Semic
Konferenztitel:
International Workshop Fabrication, Characterization and Modeling of Ultra Shallow Doping Profiles in Semic (7., 2003, Santa Cruz, CA)
Konferenztitel:
USJ-2003
Tagungsort:
Santa Cruz, CA, USA
Jahr der Konferenz:
2003
Datum Beginn der Konferenz:
27.04.2003
Jahr:
2003
Sprache:
Englisch
Fakultät:
Fakultät für Luft- und Raumfahrttechnik
Institut:
LRT 2 - Institut für angewandte Physik und Messtechnik
Professur:
Dollinger, Günther
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
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