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Document type:
Zeitschriftenartikel / Journal Article
Title:
Realization and characterization of Si nanostructures
Journal:
Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science
Volume:
166
Issue:
2
Year:
1998
Pages from - to:
687-693
Language:
Englisch
Department:
Fakultät für Elektrotechnik und Technische Informatik
Institute:
ETTI 1 - Institut für Physik, Elektrotechnik und Automatisierungstechnik
Chair:
Groos, Gerhard
Open Access yes or no?:
Nein / No
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