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Document type:
Zeitschriftenartikel / Journal Article
Title:
Thermal and free carrier concentration mapping during ESD event in smart power ESD protection devices using a modified laser interferometry technique
Journal:
Microelectronics and Reliability
Volume:
40
Issue:
8-10
Year:
2000
Pages from - to:
1365-1370
Language:
Englisch
Department:
Fakultät für Elektrotechnik und Technische Informatik
Institute:
ETTI 1 - Institut für Physik, Elektrotechnik und Automatisierungstechnik
Chair:
Groos, Gerhard
Open Access yes or no?:
Nein / No
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