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Document type:
Zeitschriftenartikel / Journal Article
Title:
Annealing behaviors of vacancy-type defects in AlN deposited by radio-frequency sputtering and metalorganic vapor phase epitaxy studied using monoenergetic positron beams
Journal:
Journal of Applied Physics
Volume:
128
Issue:
8
Year:
2020
Pages from - to:
085704
Language:
Englisch
Article ID:
085704
DOI:
Department:
Fakultät für Luft- und Raumfahrttechnik
Institute:
LRT 2 - Institut für Angewandte Physik und Messtechnik
Chair:
Dollinger, Günther
Open Access yes or no?:
Nein / No
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