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Autoren:
Breuer, Janis; Bachmann, Michael; Düsberg, Felix; Pahlke, Andreas; Edler, Simon; Langer, Christoph; Prommesberger, Christian; Ławrowski, Robert Damian; Schreiner, Rupert; Serbun, Pavel; Lützenkirchen-Hecht, Dirk
Dokumenttyp:
Zeitschriftenartikel / Journal Article
Titel:
Extraction of the current distribution out of saturated integral measurement data of p-type silicon field emitter arrays
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics
Jahrgang:
36
Heftnummer:
5
Jahr:
2018
Sprache:
Englisch
ISSN:
2166-2746
DOI:
10.1116/1.5035189
URL zum Inhalt:
https://doi.org/10.1116/1.5035189
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Institut:
EIT 2 - Institut für Physik
Professur:
Düsberg, Georg
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Vorkommen:
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