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Autoren:
Britton, David T.; Hempel, A.; Hempel, M.; Härting, M.; Bauer-Kugelmann, Werner; Triftshäuser, Werner 
Dokumenttyp:
Zeitschriftenartikel / Journal Article 
Titel:
Defect characterisation of PECVD-grown diamond 
Zeitschrift:
Materials Science Forum 
Heftnummer:
363-365 
Jahr:
2001 
Seiten von - bis:
511-513 
Sprache:
Englisch 
Abstract:
We present the results of a combined study of the defect structure and residual stress in a diamond layer, grown by PECVD on a polycrystalline copper substrate with a titanium interlayer. For the defect studies, both continuous and pulsed positron beam techniques were applied. X-ray diffraction techniques were used for both the stress determination in the diamond layer and for a phase analysis of the complete composite structure. The layer was found to contain a significant fraction of vacancy c...    »
 
ISSN:
0255-5476 
Fakultät:
Fakultät für Luft- und Raumfahrttechnik 
Institut:
LRT 2 - Institut für angewandte Physik und Messtechnik 
Professur:
Dollinger, Günther 
Open Access ja oder nein?:
Nein / No