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Dokumenttyp:
Zeitschriftenartikel / Journal Article
Titel:
Quantitative analysis of deuterium in a-C:D layers, a Round Robin experiment
Zeitschrift:
Journal of Nuclear Materials
Jahrgang:
281
Heftnummer:
1
Jahr:
2000
Seiten von - bis:
42-56
Sprache:
Englisch
Stichwörter:
Amorphous materials ; Carbon ; Desorption ; Glow discharges ; Ion beams ; Plasma applications ; Secondary ion mass spectrometry ; Silicon ; Substrates, Deuterated carbon ; Thermal desorption spectrometry (TDS), Deuterium
Abstract:
The absolute amount of deuterium in amorphous deuterated carbon (a-C:D) layers has been measured by six laboratories with different techniques, such as MeV ion beam analysis, secondary ion mass spectrometry (SIMS), and thermal desorption spectrometry (TDS). The a-C:D layers have been deposited from a CD4 glow discharge plasma onto carbon and silicon substrates. The results for the absolute numbers obtained with the different analyzing techniques show a scatter of up to about 35
ISSN:
0022-3115
Fakultät:
Fakultät für Luft- und Raumfahrttechnik
Institut:
LRT 2 - Institut für angewandte Physik und Messtechnik
Professur:
Dollinger, Günther
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
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