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Autor:
Burgmair, Markus M. 
Originaltitel:
Einsatz von Metalloxiden in Gas-Sensoren 
Übersetzter Titel:
Application of metal oxides in gas sensors 
Jahr:
2003 
Typ:
Dissertation 
Einrichtung:
Universität der Bundeswehr München, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Eisele, Ignaz, Prof. Dr. rer. nat. 
Gutachter:
Eisele, Ignaz, Prof. Dr. rer. nat.; Meixner, Hans, Prof. Dr. 
Format:
PDF 
Sprache:
Deutsch 
Fachgebiet:
Physik, Astronomie 
Schlagworte:
Metalloxide ; Feldeffekttransistor ; Austrittsarbeit ; Elektrische Leitfähigkeit ; Metalloxid-Gassensor 
Stichworte:
GasFET, ChemFET, Metalloxid, ITO, Optischer Gassensor, Gassensor, Sensorstabilität 
Übersetzte Stichworte:
GasFET, ChemFET, metal oxide, ITO, optical gas sensor, gas sensor, sensor stability 
Kurzfassung:
Diese Arbeit zeigt einen kleinen Ausschnitt des Einsatzspektrums von Metalloxiden. Sie beleuchtet zum einen die Eigenschaften von Cobaltoxid und Chrom-Titanoxid (CTO) als gasempfindliche Schichten in Austrittsarbeits- und Leitfähigkeitstransducern. Zum anderen zeigt sie, wie das sehr gut leitfähige und transparente Indium-Zinnoxid (ITO) als Gate in einem FotoFET zu einem optischen Gassensor integriert werden kann, der die Schwankungen der Lichtintensität in ein elektrisches Signal umwandelt, d...    »
 
Übersetzte Kurzfassung:
This work shows a small section of the large application range of metal oxides. On the one hand, it illustrates the properties of cobalt oxide and chromium titanium oxide (CTO) as gas sensitive films in work function and conductivity type transducers. On the other hand, it shows, how the well conducting and transparent indium tin oxide (ITO) can be integrated as a gate in a photo-FET to an optical gas sensor which transforms the variation of light intensity to an electrical signal which, in turn...    »
 
Tag der mündlichen Prüfung:
12.09.2003 
Eingestellt am:
03.12.2003 
Ort:
Neubiberg 
Stadt (Autor):
München 
Vorname (Autor):
Markus 
Nachname (Autor):
Burgmair