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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag / Conference Paper
Titel:
A simulation-based analysis of the cycle time of cluster tools in semiconductor manufacturing
Paralleltitel:
15th European Simulation Symposium
Herausgeber Sammlung:
Verbraeck, Alexander
Titel Konferenzpublikation:
Simulation in industry
Untertitel Konferenzpublikation:
October 26 - 29, 2003, Delft, The Netherlands
Konferenztitel:
European Simulation Symposium (15., 2003, Delft)
Konferenztitel:
ESS'2003
Tagungsort:
Delft, The Netherlands
Jahr der Konferenz:
2003
Datum Beginn der Konferenz:
26.10.2003
Datum Ende der Konferenz:
29.10.2003
Verlagsort:
Erlangen [u.a.]
Verlag:
SCS-Europe
Jahr:
2003
Seiten von - bis:
349-354
Sprache:
Englisch
ISBN:
3-936150-28-1 ; 3-936150-29-X
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
BibTeX